當前，28納米是芯片應用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。據介紹，電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產(chǎn)品格局，實(shí)現了28納米工藝制程全覆蓋，切實(shí)保障國產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。

7月3日，中國電子科技集團有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)中國電科)官網(wǎng)刊文指出，中國電科連續突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，實(shí)現國產(chǎn)離子注入機28納米工藝制程全覆蓋重大科技成果，有力保障中國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。

  離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過(guò)程中，需要摻入不同種類(lèi)的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這一摻雜工藝的芯片制造設備。

　　當前，28納米是芯片應用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。據介紹，電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產(chǎn)品格局，實(shí)現了28納米工藝制程全覆蓋，切實(shí)保障國產(chǎn)芯片生產(chǎn)制造。

　　據了解，作為國內最早從事離子注入設備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，電科裝備已具備從產(chǎn)品設計到量產(chǎn)應用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯器件、存儲器件、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺設備廣泛應用于國內各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線(xiàn)，累計流片2000萬(wàn)片，有力提升中國產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈韌性和安全水平。

大束流離子注入機成功入選《推薦目錄(2022年版)》

此前于今年5月，電科裝備官網(wǎng)刊文指出，電科裝備北京爍科中科信公司大束流離子注入機作為高端裝備成功入選《中央企業(yè)科技創(chuàng )新成果推薦目錄(2022年版)》(以下簡(jiǎn)稱(chēng)《推薦目錄》)。本次推薦目錄共涉及核心電子元器件、關(guān)鍵零部件、分析測試儀器、基礎軟件、關(guān)鍵材料、先進(jìn)工藝、高端裝備七個(gè)領(lǐng)域。

大束流離子注入機作為全系列離子注入機中的拳頭產(chǎn)品之一，北京爍科中科信以創(chuàng )新賦能其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，用技術(shù)迭代提升其產(chǎn)品性能，全面保障了設備在產(chǎn)線(xiàn)的運行狀態(tài)，展現了更高水平的產(chǎn)能，切實(shí)維護了集成電路領(lǐng)域供應鏈的安全。目前，低能大束流離子注入機8寸產(chǎn)線(xiàn)已實(shí)現了工藝全覆蓋及批量跑貨，累計跑貨量超500,000片，12寸產(chǎn)線(xiàn)28nm及以上工藝實(shí)現全覆蓋，應用于先進(jìn)制程的高溫注入機已完成整機設計及組裝，現已實(shí)現在高溫600℃以上時(shí)，設備仍能均勻吸附晶圓，且能夠保障高效穩定傳輸。

1月即交付今年第3臺離子注入機

今年1月6日，中國電科官方頭條號發(fā)文稱(chēng)，滿(mǎn)載設備的運輸車(chē)整裝待發(fā)，又一臺離子注入機設備駛向客戶(hù)現場(chǎng)，這是電科裝備今年交付的第三臺離子注入機。